洁净室（无尘车间）内外会有各种振源，从大型的公用动力设备、小到人体活动。对于微电子、精密机械、科学实验等行业，都需要对振动进行隔离。那么，洁净室（无尘车间）设计都有哪些隔振措施呢？

首先，洁净室（无尘车间）如果需要进行隔振处理，首先要对相关的公用动力设备进行主动隔振，这时应该选择质量大的、刚度高的台座以及刚度小的隔振器，由此减少振动对支承结构及管道的振动传输。实践表明，通往洁净室的各类管道，例如通风空调管道，振动较大，往往成为洁净室的主要振源之一。对于敷设为水平向的管道宜采用悬挂式，竖直向管道宜采用支撑式。另外，管道与设备、管道与支承结构的连接（如风管与静压箱或高效过滤器的连接）应采用柔性连接。

其次，如果对公用动力设备的主动隔振已经不能满足需求时，这时可以采用对精密设备及仪器的被动隔振。被动隔振措施有三种类型：一是与建筑结构相结合的方式，它是精密设备与隔振器不直接连接，中间设置在现场制作的结构物，二是与精密设备相结合型，此时精密设备直接与隔振器相连接，并将隔振器视作设备的一部分，三是系列隔振台、座产品，此类产品为工厂化生产，带有整套空气弹簧隔振器，台座有平板式或桌式，但因承载能力较小，主要用于小型精密设备、仪器的隔振。

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