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模块化洁净室(无尘室)难缠的静电问题如何解决?
日期:2023/5/23 | 浏览次数:719

模块化洁净室(无尘室)内除了要控制灰尘颗粒的数量、温湿度,还要注意静电问题,这对于某些行业来说,与产品的生产有非常大的关系。因此在模块化洁净室(无尘室)在设计施工的时候,通常需要考虑静电问题。

静电其实无处不在,空气的流动、人体与衣服的摩擦、工艺上的各种操作等,都会产生静电。而且洁净室(无尘室)的许多材料如地板、墙面、工作服等都有很高的电阻率,所以非常容易产生和聚 集静电。

静电的危害无处不在。静电引起的电击,可能造成安 全事故;静电的放电电流、电磁波、发光等会造成电子行业元器件的损毁老化、照相胶片等感光破损、印刷品质量下降等。因此模块化洁净室(无尘室)在搭建时,会考虑各个环节的防静电措施。




首先,调节模块化洁净室(无尘室)的温湿度防静电。在北方或者干燥的冬季,静电故障的发生率远大于东部沿海地区或其他季节。据研究,空气的温度在23℃、湿度在50%左右的条件下,空气中的静电问题就会大大降低。

其次,模块化洁净室(无尘室)采用防静电材料和设备。如地板不仅要关注不产尘问题,还要铺设防静电地板或地毯。使用离子风枪 手持静电消 除器,吹出大量电离的正负离子,与空气中的静电离子中和,从而消 除静电。离子棒由金属棒和电源组成,靠近物体,就会自动将离子释放到空气中,即可消 除静电。此外受静电影响较大的半导体器件等应该盛放在防静电容器中,可有 效防止静电。

第三,消 除模块化洁净室(无尘室)内作业人员的人体带电。如在人员进出口设置ESD静电闸机,并搭配静电释放球。洁净室耗材上,选择防静电洁净服装、鞋、帽、手套,防静电手带等。


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