模块化洁净室在施工、安装完成后，交付业主前，要进行各项数据的检测验收，这其中包括洁净度、风速、噪声等。这几项数值一般是在首 次洁净通风24小时以上，静态循环送风2小时以上，静态环境下检测。并且经过连续检测，测试值均符合要求，则可以交付业主使用。

首先，模块化洁净室内洁净度的检测。检测点为风机滤网机组FFU的高 效过滤器正下方、距离地面800-1200mm，距离侧壁500mm以上。按照美国联邦209E标准，检测的容积单位均为立方英尺（ft³）。例如洁净等级为万级的模块化洁净室（无尘室），1立方英尺（ft³）内0.5μm的尘埃粒子数为1万个，其他规格的尘埃粒子数量，也有不同的规定。测试结果均需要在规定范围之内。模块化洁净室（无尘室）洁净度的检测也可以通过有规律扫描检测的方式来获取数据，如遇到数据波动异常的点，再通过定点详细检测的方式来获取数据。为确保模块化洁净室（无尘室）里检测数据的客观及真实性，测试环境内的人员数量为1-2人，尘埃粒子计数器在每个点位需要静置5分钟后，再开始才采样。

其次，是风速的检测。用风速仪在高 效过滤器正下方15mm处，每间洁净室至少测4个点。合格指标为0.45m/s±20%。

第三，噪声的检测。用噪音计在高 效过滤器正下方、距离地面1.2米处，正好是人的耳朵位置，参考值一般是68dB以内或按设计要求。为了体现数据的科学性，应在相对安静的环境下测试，必要时区分环境噪音。模块化洁净室一般记录分散三点的书之后取平均值。

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