在模块化洁净室（组装式洁净室、无尘车间）内，过滤器按照滤料的不同，可以分成滤纸过滤器、纤维层过滤器、泡沫材料过滤器。

首先，滤纸过滤器。这是洁净技术中使用较为广泛的一种过滤器，目前滤纸常用玻璃纤维、合成纤维、超细玻璃纤维以及植物纤维素等材料制作。根据过滤对象的不同，采用不同的滤纸制作0.3微米级的普通高效过滤器或亚高效过滤器，或做成 0.1微米级的超高效过滤器。

其次，纤维层过滤器。这是用各种纤维填充制成过滤层，所采用的纤维有天然纤维，是一种自然形态的纤维，如羊毛、面纤维等；化学纤维，采用化学的方法改变原料的性质制作的纤维；人造纤维(物理纤维)，采用物理的方法从原材料中分离出的纤维，其原料性质没有改变。纤维层过滩器属于低填充率的过滤器，阻力降较小，通常用作中等效率的过滤器，如应用无纺布工艺制作的纤维层制造的过滤器。

第三，泡沫材料过滤器。泡沫材料过滤器就是一种采用泡沫材料的过滤器，此类过滤器的过滤性能与其孔隙率关系密切。但目前国产泡沫材料的孔隙率控制困难，各制造厂家制作的泡沫材料孔隙率差异很大，制成的过滤器性能不稳定，所以现在很少使用了。

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