洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净棚气流会受哪些因素的影响?怎么避免呢?

　　影响因素

　　1、一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

　　2、整理室内的运作桌等障碍物，在相接处均会有涡流表象发作，相对地在其邻近之整理度将会较差，在运作桌面钻上回风孔，将使涡流表象削减至低;拼装资料之挑选是不是恰当、设备规划是不是完善，亦为气流是不是变成涡流表象之重要要素。

　　3、洁净棚能较快组成的简便整理室,其具有装置、施工周期短、价钱低廉、移动便利等特点，把要出产工序控制在较小的环境内也是整理室设计的挑选。

　　4、风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器过滤，过滤后的整理空气在出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到棚内。构成均流层，使整理空气气流呈笔直单向流，然后保障了运作区内所需求的整理度。

　　5、影响无尘设备的气流要素很多，如制程设备、人员、整理室拼装材、照明器具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入思考要素。

　　避免气流影响的方法

　　风速的控制洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25——0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可压制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以0适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

　　另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。

　　垂直层流式方向要保持均一气流须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25——0.5m/s之间。