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FAB无尘室是什么?
日期:2023/9/22 | 浏览次数:1911
FAB无尘室(洁净室、无尘车间)是半导体制造中常见的一种无尘室,也称为洁净室。FAB是Fabrication的缩写,表示半导体芯片的制造工厂。

在FAB无尘室中,空气质量被严格控制,以确保电子元件在制造过程中不受到尘埃和其他微粒的污染。这是因为尘埃和微粒的存在可能会对芯片的性能和质量产生严重影响。

FAB无尘室通过使用高 效的空气过滤和精 密的空气流动控制系统,以及严格的操作规程和个人防护装备,保持室内空气的高洁净度。还可以控制室内的温度、湿度、静电和化学物质等因素,以确保整个制造过程的稳定性和一致性。

无尘室还通常配备特殊的工作台、工具和设备,以大程度地减少尘埃和微粒的产生,并提供适合半导体芯片制造的工作环境。


FAB无尘室


FAB(半导体制造工厂)无尘室的管理规定通常要求严格遵守以下规定:

准入控制:仅允许经过培训的人员进入无尘室,并要求人员佩戴干净的防尘服、鞋套、面罩、手套等个人防护装备。

清洁与维护:无尘室需要定期进行清洁和维护,包括地面、墙壁、天花板、设备、工作平台等的清洁,确保其表面光滑、无尘,并在需要时更换过滤器。

空气质量控制:无尘室要保持严格的空气质量控制,通过使用高 效过滤系统、控制室内温湿度、控制人员活动等手段,确保室内微粒和微生物的浓度控制在规定的范围内。

物品控制:禁止无尘室内携带任何非必要物品,如食物、饮料等,严格控制无尘室内进出的物品和设备的清洁度,避免室内环境的污染。

静电控制:采取静电控制措施,包括使用导电地板、静电消除器等,以减少静电对产品和设备的影响。

废物处理:无尘室内产生的废物要进行正确的分类、包装、存储和处理,避免对室内环境和生产过程造成污染和风险。

紧急事件应急处置:制定紧急预案,培训员工如何应对紧急事件,包括火灾、泄漏等,及时采取应急措施,确保员工和设备的安全。

文件记录:建立相关管理文件和记录,记录无尘室的清洁、维护、过滤器更换、空气质量检测等信息,以评估和验证无尘室的管理效果和符合性。

这些规定有助于确保FAB无尘室内的空气质量和环境符合制造半导体产品的需求,减少产品的缺陷率,保证生产质量。具体的规定可能因工厂的具体需求和行业标准而有所不同。



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