模块化洁净室（组装式洁净室）控制污染源的方法有很多。

首先，堵住污染物进入，包括建立密闭的空间；使用空气过滤系统对进入的空气进行净化；对人员和物品通过风淋通道（风淋室、货淋室）、传递窗等进行净化；模块化洁净室内形成微正压环境，防止污染空气倒流；对人员进行管控，无关人员不得进入等等。

其次，防止污染物的产生，包括使用不易产尘的不锈钢板、烤漆钢板、钢化玻璃等进行四周围护，地面使用PVC、环氧树脂；对模块化洁净室内的操作人员要求穿着洁净服、洁净鞋、佩戴帽子、口罩等等；洁净室内使用不锈钢等不易产尘的桌椅等等。

第三，带走已产生的污染物，包括形成一定的气流流型，排出或稀释室内带有污染物的空气；定期对模块化洁净室各个部分进行彻底的清洁；在进入洁净室前，先对洁净进行一定时间的自净，以清除洁净室停止使用时产生的污染；此外，对于产尘较大的设备，还可以使用洁净棚、层流罩、洁净工作台等小型净化设备进行净化。

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